Αυτό το όργανο υιοθετεί μέθοδο μέτρησης συμβολομετρίας χωρίς επαφή, οπτική μετατόπιση φάσης, δεν καταστρέφει την επιφάνεια του τεμαχίου εργασίας κατά τη μέτρηση, μπορεί γρήγορα να μετρήσει τα τρισδιάστατα γραφικά της επιφανειακής μικροτοπογραφίας διαφόρων τεμαχίων εργασίας και να αναλύσει και να υπολογίσει τη μέτρηση αποτελέσματα.
Περιγραφή προϊόντος
Χαρακτηριστικά: Κατάλληλο για τη μέτρηση της τραχύτητας της επιφάνειας διαφόρων μπλοκ μετρητών και οπτικών μερών. το βάθος του πλέγματος του χάρακα και του καντράν. το πάχος της επίστρωσης της δομής του αυλακιού πλέγματος και η μορφολογία της δομής του ορίου επίστρωσης. την επιφάνεια του μαγνητικού (οπτικού) δίσκου και της μαγνητικής κεφαλής Μέτρηση δομής. Μέτρηση τραχύτητας επιφάνειας γκοφρέτας πυριτίου και δομής σχεδίου κ.λπ.
Λόγω της υψηλής ακρίβειας μέτρησης του οργάνου, έχει τα χαρακτηριστικά της μη επαφής και της τρισδιάστατης μέτρησης και υιοθετεί έλεγχο υπολογιστή και ταχεία ανάλυση και υπολογισμό των αποτελεσμάτων των μετρήσεων. Αυτό το όργανο είναι κατάλληλο για όλα τα επίπεδα ερευνητικών μονάδων δοκιμών και μετρήσεων, αίθουσες μετρήσεων βιομηχανικών και μεταλλευτικών επιχειρήσεων, εργαστήρια επεξεργασίας ακριβείας, καθώς και κατάλληλο για ιδρύματα τριτοβάθμιας εκπαίδευσης και επιστημονικά ερευνητικά ιδρύματα κ.λπ.
Οι κύριες τεχνικές παράμετροι
Εύρος μέτρησης μικροσκοπικού βάθους επιφανειακής ανομοιομορφίας
Σε συνεχή επιφάνεια, όταν δεν υπάρχει απότομη αλλαγή ύψους μεγαλύτερη από το 1/4 του μήκους κύματος μεταξύ δύο γειτονικών pixel: 1000-1nm
Όταν υπάρχει μετάλλαξη ύψους μεγαλύτερη από το 1/4 του μήκους κύματος μεταξύ δύο γειτονικών pixel: 130-1nm
Επαναληψιμότητα μέτρησης: δRa ≤0,5nm
Μεγέθυνση αντικειμενικού φακού: 40X
Αριθμητικό διάφραγμα: Φ 65
Απόσταση εργασίας: 0,5mm
Οπτικό πεδίο οργάνου Οπτικό: Φ0,25mm
Φωτογραφία: 0,13×0,13 χλστ
Μεγέθυνση οργάνου Οπτική: 500×
Φωτογραφία (παρατηρείται από οθόνη υπολογιστή)-2500×
Συστοιχία μέτρησης δέκτη: 1000Χ1000
Μέγεθος pixel: 5,2×5,2 μm
Χρόνος μέτρησης χρόνος δειγματοληψίας (σάρωση): 1S
Στάνταρ ανακλαστικότητα καθρέφτη οργάνου (υψηλή): ~50%
Ανάκλαση (χαμηλή): ~4%
Πηγή φωτισμού: λάμπα πυρακτώσεως 6V 5W
Πράσινο μήκος κύματος φίλτρου παρεμβολής: λ≒530nm
Μισό πλάτος λ≒10nm
Κύριο ανύψωση μικροσκοπίου: 110 mm
Ανύψωση τραπεζιού: 5 mm
Εύρος κίνησης στην κατεύθυνση Χ και Υ: ~10 mm
Εύρος περιστροφής του τραπεζιού εργασίας: 360°
Εύρος κλίσης του τραπεζιού εργασίας: ±6°
Σύστημα υπολογιστή: P4, 2,8G ή περισσότερο, οθόνη επίπεδης οθόνης 17 ιντσών με μνήμη 1G ή μεγαλύτερη